石英晶振晶片多種外形的修正選擇分析結(jié)果
石英晶振晶片外形的修正
AT切型長條片外形有三種:平面片、平面倒邊片、平面倒邊倒角片。在寬厚比較大時(Wz/t/>20可不要修外形。直接采用平面片。當(dāng)晶振頻率較低時,為了減小諧振電阻,減小邊緣效應(yīng)和寄生耦合要修外形。將石英片的邊緣減薄。
修外形用滾筒進(jìn)行,滾筒有兩種,直筒和球筒。直筒的作用主要倒寬度方向,但也對長度方向有影響。球形滾筒由于直徑較小,主要是將條片長度方向的端邊邊緣減薄。兩者配合起來對石英晶振片倒邊后成拋物線曲面。且曲面與平臺平面銜接要好。這就要求必須計算好石英片的倒邊曲率半徑。選擇好滾筒以及計算好滾筒的轉(zhuǎn)速。
當(dāng)頻率小于7MHz時
為了避免厚度切變振動與面切變振動的耦合,改善石英晶振晶體頻率溫度特性,需要長度在X方向的石英片,在Z軸方向的橫截面與主平面不正交而成一個約5°的角,見圖3.6.5,該角度α由下列公式計算而得:
α角隨切角φ1的變化由式(3.6.33)計算可知: φ1從34°°52′~35°17變化,則α由4.46°變化到5°02’,考慮到生產(chǎn)方便,一般取5°。
2.6.2滾筒倒邊的尺寸
當(dāng)石英晶振片的長、寬、厚尺寸確定后,頻率在12M晶振以下的石英片滾筒倒后的尺寸按如下公式計算:
式中β=6°~9°,一般取β=6.8°或β=8.32°。
對于AT切:N1=1665 KHz·mm;N2=2542 KHZ· mm;
對于BT切:N1=2560 KHz·mm;M2=1654 KHz·mm;
n一波節(jié)線由邊緣算起的順序號。
t0一端邊邊緣厚度(又叫留邊量),按表3.4.2進(jìn)行選取。
曲率半徑R為:
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